LF400系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量量测及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
功能 流量计/控制器
基本型号 LF400-S
满量程流量范围(N2) SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S) ±1(≤15SLM)
±1.5(＞15SLM.)
控制阀动作型式 常闭式
线性(％F.S.) ±0.5～1(≤15SLM)
±1.5％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.) ±0.2
响应时间(sec) ≤1
流量输出信号 0-+5.00V
流量设定信号 0-+5.00V
电器接头 DB15 pin(接头)
工作环境温度 (℃) 5～45
工作压差 (MPa) 0.1～0.5
漏率 SCCSHe 1×10-9
最大耐压 3MPa
介质接触材质 304，316，316L
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
接头 VCR " 1/4、1/2
Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸 Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm
1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求 +15V,50mA；-15V,200mA
重量 1.0KG |
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