主要技术参数：

型号                   FZF-150/600

抽气速率（l/s）         600L/S

压缩比N₂                >10⁹

压缩比H₂               >8×10³

极限压强(Pa)           <2×10^-8      <1×10^-7

高真空法兰              LF150   CF150

排气口法兰              KF40

启动加速时间（min）    <5min

电机转速（n/min）      24000n/min

最小不平衡量（mg）     15mg

建议采用前级泵         机械泵4～8L/S

充油量（ml）           /

安装方式               垂直±5°

冷却方式               水冷或风冷

冷却水温度             < 20℃

环境使用温度（℃）     风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）     <100℃

泵重量（kg）           30kg

外形尺寸（mm）         φ280×416

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