产品介绍

分子泵是一种高真空获得设备，它的最高真空度可达2×10^-8Pa。具有噪音低、无油洁净、能耗低、抽速大、运转平稳等特点，运用越来越广泛。

主要技术参数：

型号                    FZF-200/1200

抽气速率（l/s）         200L/S

压缩比N²                >10⁹

压缩比H²                  >8×10⁴

极限压强(Pa)           <2×10^-8     <1×10^-7

高真空法兰              LF200   CF200

排气口法兰              KF40

启动加速时间（min）    <5min

电机转速（n/min）      24000n/min

最小不平衡量（mg）     15mg

建议采用前级泵          机械泵8～15L/S

充油量（ml）           /

安装方式               垂直±5°

冷却方式               水冷或风冷

冷却水温度             <20℃

环境使用温度（℃）     风冷<32℃  水冷<40℃

泵体烘烤温度（℃）     <100℃

泵重量（kg）           36kg

外形尺寸（mm）          φ320×428

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